7月4日下午，工信部装备司叶猛调研员、专家张维新、钱涛，山西省经信委技术创新处处长李宁、主管尹龙，太原市经信委副主任刘书林、技装处处长秦文彬、副处长张海燕在2所考察。

 考察组参观了碳化硅半导体材料研发现场、智能装备装调车间、微电子共烧陶瓷器件数字化示范车间。听取了2所关于聚焦微电子智能制造装备及第三代半导体碳化硅材料两大主营业务，打造碳化硅材料和智能制造系统集成服务新动能的发展思路，以及建设微电子智能制造装备创新中心进展情况的汇报。

 叶猛调研员对2所以自主研制装备为基础开展的碳化硅材料产业化工作表示充分认可，为国家自主可控做出了贡献。对智能制造数字化车间的产业化及可复制性方面给予高度评价,为微电子智能制造装备领域试点示范起到了推进作用,并表示对二所的智能制造发展有信心。

 所长樊元东、首席专家郎鹏、所长助理高德平、规划及投资处处长张蕾、科技处处长赵付超陪同并参加了会议。